【摘 要】
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介绍了一种硅微机械FP腔器件，该器件作为光学滤波器、光学衰减器等在光纤通信技术中具有广泛应用。采用化学气相沉积、刻蚀、金属蒸发等工艺对该器件进行加工，并利用湿法腐蚀释
【机 构】
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中科院微电子研究所微细加工与纳米技术实验室,北京理工大学信息科学与技术学院
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介绍了一种硅微机械FP腔器件，该器件作为光学滤波器、光学衰减器等在光纤通信技术中具有广泛应用。采用化学气相沉积、刻蚀、金属蒸发等工艺对该器件进行加工，并利用湿法腐蚀释放使其形成悬空结构，悬空膜采用静电激励驱动。分析了器件的基本原理、工作范围、静电激励的阈值电压等特性，并指出了影响阈值电压大小的因素。
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