精密制造关键技术研究新进展

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对精密制造中超精密定位技术、位移机构、精密位置检测技术、二级定位技术、误差补偿技术的进行重点论述,并分析了国内外的研究进展情况,对我国精密加工技术在搭建相应加工系统以及刀具测量与控制,误差新补偿,加工环境控制,设备的精度,复合加工等方面发展及尚待解决的问题提出展望。
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