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表面波纹度是评定微磨料气射流加工表面质量的重要指标之一。通过微磨料气射流加工硅片试验，研究了工艺参数及其交互作用对加工表面波纹度的影响，建立了表面波纹度的广义回归神经网络模型。结果表明，喷嘴横移速度对表面波纹度的影响最显著，其次分别是靶距、磨料喷射机工作压力、靶距和喷嘴横移速度的交互作用，以及磨料喷射机工作压力和靶距的交互作用，而磨料喷射机工作压力和喷嘴横移速度的交互作用对表面波纹度的影响不显著。表面波纹度随着磨料喷射机工作压力的增加而增大，随着靶距的增加先增大后减小，随着喷嘴横移速度的增加而减小。选用较