【摘 要】
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以C2H2为碳源，Ar气为辅助气体，利用射频等离子体化学气相沉积的方法在有机薄膜PET和载玻片上制备了类金刚石（diamond-like carbon，DLC）薄膜。通过红外光谱（FTIR）、拉曼光谱（Haman）分析
【机 构】
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北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室
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以C2H2为碳源，Ar气为辅助气体，利用射频等离子体化学气相沉积的方法在有机薄膜PET和载玻片上制备了类金刚石（diamond-like carbon，DLC）薄膜。通过红外光谱（FTIR）、拉曼光谱（Haman）分析了所制备DLC薄膜的结构；利用原子力显微镜（AFM）分析了薄膜的表面形貌；另外，还利用摩擦磨损仪对薄膜的机械性能进行了研究。实验得到：FTIR、Raman谱图分析发现碳氢膜主要由sp^2和sp^3杂化的碳氢化合物呈层状堆积而成，其组分与沉积参数密切相关；同时，sp^2和sp^3杂化比例影响所
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