偏视场用三反系统消杂光设计及仿真

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分析了偏视场用三反系统的杂散光特性,根据遮光罩设计的基本原则,介绍了利用计算机仿真技术进行消杂散光设计和评价的原理.系统为特殊的矩形视场,且在y方向视场偏轴,为此,设计了盒形外壁与锥形内壁相结合的外遮光罩结构,并在CAD中进行建模,采用内部挡光片为方形并且梯度排列的结构.在λ=0.25μm,方位角为0°和90°时分别对0.5~80之间共16个离轴角度进行光线追迹,最后通过计算得到了系统PST曲线.由曲线可以看出,系统PST整体上是下降的,且在离轴角25°时达到10-8量级.计算杂光系数为3.59%,完全满足要求.实验结果证明了设计的可行性,为应用提供了依据.
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