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介绍了用光交流法测量电子陶瓷薄层材料的热扩散率的原理、技术和方法。着重分析了优质电子陶瓷碳化硅测量中出现的端部效应。文中报导了日立热压碳化硅电子内瓷薄层材料热扩散率的测量结果。
用光交流法测量电子陶瓷薄层材料的热扩散率
【摘 要】
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介绍了用光交流法测量电子陶瓷薄层材料的热扩散率的原理、技术和方法。着重分析了优质电子陶瓷碳化硅测量中出现的端部效应。文中报导了日立热压碳化硅电子内瓷薄层材料热扩
【机 构】
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清华大学工程力学系（100084）
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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1993年3期
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