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在滴胶过程中能够得到一致性较好的滴胶效果，是芯片粘接的基本要求。影响胶滴一致性的因素有很多，其中滴胶高度是否一致是最主要的影响因素之一。通过对Z轴的误差进行补偿使得滴胶高度保持一致，以消除其对滴胶一致性的影响。实验证明，通过这种方法补偿可以得到满足实验一致性要求的滴胶效果。
滴胶过程中的Z轴误差补偿
【摘 要】
：
在滴胶过程中能够得到一致性较好的滴胶效果，是芯片粘接的基本要求。影响胶滴一致性的因素有很多，其中滴胶高度是否一致是最主要的影响因素之一。通过对Z轴的误差进行补偿使得
【机 构】
：
中南大学机电工程学院
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
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2006年2期
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