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1、产品及其简介rnM5525 100-1/UM型大角度离子注入机可满足100纳米,8英寸集成电路制造工艺的要求,适合源漏区的大角度晕、袋、栅阈值调整、阱等注入,可获得良好的注入均匀性、重复性.
M5525100-1/UM型大角度离子注入机
【摘 要】
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1、产品及其简介rnM5525 100-1/UM型大角度离子注入机可满足100纳米,8英寸集成电路制造工艺的要求,适合源漏区的大角度晕、袋、栅阈值调整、阱等注入,可获得良好的注入均匀性
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2007年7期
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