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文章以ＧｅＳｉ材料为基础，从理论和实践两方面讨论将波导、调制器、探测器集成在一起的可能性，分析结果表明，三者之间的光集成在理论上是可行的，在工艺上也是可以实现的。
GeSi调制器与探测器单片光电集成
【摘 要】
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文章以ＧｅＳｉ材料为基础，从理论和实践两方面讨论将波导、调制器、探测器集成在一起的可能性，分析结果表明，三者之间的光集成在理论上是可行的，在工艺上也是可以实现的。
【机 构】
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西安交通大学
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1997年3期
【基金项目】
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国家自然科学资金
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