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给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法，并且通过工艺流片制造出有效反射面积为30mm×30mm，拥有49个静电驱动单元的可变形反射镜．测试得到的镜面变形—电压数据显示其与模拟结果具有很好的一致性。
基于MEMS技术的一种新型可变形反射镜
【摘 要】
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给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法，并且通过工艺流片制造出有效反射面积为30mm×30mm，拥有49个静电驱动单元的可变形反射镜．测试得到的镜面变形
【机 构】
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华中科技大学光电子工程系,北京大学微电子学研究所微米／纳米加工技术国家重点实验室
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2004年9期
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