体微加工相关论文
本文主要针对体微加工过程中微电子机械系统以及微机械加工技术中的硅微机械加工技术的联合运用进行研究，结合微电子机械系统技术的......
给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法.从静电驱动的角度阐述此种反射镜的结构设计原理,并对具体加工中的......
给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法，并且通过工艺流片制造出有效反射面积为30mm×30mm，拥有49个静电......
<正> 传统的体微加工是指薄片上的各向异性刻蚀。该技术当前已被广泛使用,它的缺点是结构一般相对较大,所以要占据绝大部分的芯片......
给出了一种基于硅微加工技术的新型变形反射镜的设计和加工方法.变形反射镜镜面主体是由一定厚度的硅膜构成,硅膜上表面溅射有一层......
微电子机械系统是一项建立在微纳米技术基础上的前沿技术,是对微纳米材料进行设计、加工、制造和控制的技术。硅微机械加工工艺是......
首先介绍了两种结构完全对称的高灵敏度的摇摆质量陀螺．设计并制作了一种对角驱动的新型摇摆质量微陀螺．利用硅的各向异性湿法腐蚀等......
微电子机械系统(MEMS)是一项21世纪可以广泛应用的新兴技术。硅微机械加工工艺是近年来随着集成电路工艺发展起来的MEMS主流技术。......
