DC—DC转换器中功率沟槽MOSFET的优化设计

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利用工艺和器件模拟软件TSUPREM-4和MEDICI,研究了工艺参数对DC—DC转换器中的功率沟槽MOSFET的通态电阻Ron、栅-漏电容Cgd的影响以及栅-漏电荷Qgd在开关过程中的变化,指出了在设计和工艺上减小通态电阻Ron和栅-漏电容Cgd,提高器件综合性能的途径。
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