微型喷嘴雾化直写技术制备厚膜导体研究

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采用微细雾化喷射沉积直写的方法在陶瓷基板上制备银厚膜导体。主要研究了施加气压、喷嘴到基板距离、直写速度以及雾化气压对导体线宽的影响规律,分析了微型喷嘴雾化直写厚膜导体机理,并优化了工艺参数,得到了最佳工艺参数范围:施加驱动气压控制在0.05~0.10MPa,喷嘴到基板距离0.4~1.2mm,直写速度在15mm/s以下,雾化气压0.14~0.24MPa,所得线宽350~750μm,单层膜厚1.5~10μm。
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