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通过将双层柱状微结构加工在SAW芯片表面,在COMSOL有限元仿真软件下实现了声波在结构内部的单点聚焦以及多极局域效应,并得出了结构尺寸与声波频率的对应关系.
双层柱状结构对声表面波芯片的声场调控仿真
【摘 要】
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通过将双层柱状微结构加工在SAW芯片表面,在COMSOL有限元仿真软件下实现了声波在结构内部的单点聚焦以及多极局域效应,并得出了结构尺寸与声波频率的对应关系.
【机 构】
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中北大学理学院,中北大学信息与通信工程学院
【出 处】
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云南师范大学学报:自然科学版
【发表日期】
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2019年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(61671414),山西省青年基金资助项目(201601D202035),中国博士后科学基金资助项目(2017M611198).
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