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研究了超薄Ｔi膜吸收率和直流电导率与薄膜厚度的关系，结果表明，超薄Ｔi膜的吸收率具有尺寸效应，并具有极大值，其结构特征变化是导致吸收率尺寸效应的重要原因。
超薄Ｔi膜吸收率的尺寸效应
【摘 要】
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研究了超薄Ｔi膜吸收率和直流电导率与薄膜厚度的关系，结果表明，超薄Ｔi膜的吸收率具有尺寸效应，并具有极大值，其结构特征变化是导致吸收率尺寸效应的重要原因。
【机 构】
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中国科学院金属研究所
【出 处】
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材料研究学报
【发表日期】
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2001年2期
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