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从类金刚石碳膜作为耐磨薄膜的角度出发,综述了近年来类金刚石碳膜(DLC)结构、沉积技术、沉积机理和性能方面的相关研究进展.介绍了DLC的相结构、过滤阴极真空弧(FCVA)、类金刚石碳膜的沉积机理及主要工艺影响因素,同时指出了存在的问题及研究发展趋势.
类金刚石碳膜的研究进展
【摘 要】
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从类金刚石碳膜作为耐磨薄膜的角度出发,综述了近年来类金刚石碳膜(DLC)结构、沉积技术、沉积机理和性能方面的相关研究进展.介绍了DLC的相结构、过滤阴极真空弧(FCVA)、类金
【机 构】
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中国地质大学（北京）工程技术学院国家科学钻探实验室
【出 处】
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金属热处理
【发表日期】
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2003年11期
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