砷化镓负电子亲合势光电阴极激活灵敏度在线检测与分析

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模拟光电阴极灵敏度测试仪对GaAs阴极激活光源进行校准,并对透、反射阴极光电流比值对灵敏度的影响进行了讨论,实验结果证明,P+衬底和阴极组件激活灵敏度的差别主要来源于台外工艺质量的影响.
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