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本文研究测量PVD(物理气相沉积)镀膜与基材结合力的一种新方法——动态拉伸法。即在扫描电子显微镜(带有微型拉伸实验台)下观察产生恒应变的试样表面镀膜的裂纹萌生、扩展及脱落过程,并根据不同形变量来判断其结合力的差异。此种方法可以直接观察得到半定量的测量结果。
评价镀膜与基材结合力的一种新方法
【摘 要】
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本文研究测量PVD(物理气相沉积)镀膜与基材结合力的一种新方法——动态拉伸法。即在扫描电子显微镜(带有微型拉伸实验台)下观察产生恒应变的试样表面镀膜的裂纹萌生、扩展及
【机 构】
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中国科学院金属腐蚀与防护研究所,中国科学院金属腐蚀与防护研究所
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1989年4期
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