【摘 要】
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为有效缩短脉冲激光烧蚀制备有机硅聚合物聚二苯基硅亚甲基硅烷（Polydiphenylsilylenemethyle,PDPhSM）基纳米复合薄膜工艺中繁琐的试验过程,本文将用径向基函数（Radial BasisFun
【机 构】
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浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室,嘉兴职业技术学院机电与汽车分院
【基金项目】
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浙江省自然科学基金青年科技人才培养项目（R405031）浙江省教育厅专项项目（20051441）.
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为有效缩短脉冲激光烧蚀制备有机硅聚合物聚二苯基硅亚甲基硅烷（Polydiphenylsilylenemethyle,PDPhSM）基纳米复合薄膜工艺中繁琐的试验过程,本文将用径向基函数（Radial BasisFunction,RBF）人工神经网络对聚合物PDPhSM基纳米复合薄膜的制备工艺与聚合效率之间的关系进行建模;讨论了激光能量密度、环境压强、靶衬距离、沉积时间和聚合效率之间的关系.在此基础上,采用粒子群（Particle Swarm Optimiza-tion,PSO）算法对其进行工艺优化,200
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