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近些年,迅速发展起来的研究微观世界的微-纳米科学技术已成为国际高科技领域关注的热点,在微电子、微机械及纳米电子、纳米机械技术方面,微米级的加工技术在1988年已使硅片刻线宽度达0.8μm,芯片集成度达4Mb,从而进入超大规模集成时代,预计2000年以前,线宽可达0.2～0.1μm...
显微镜家族的新成员——原子力显微镜
【摘 要】
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近些年,迅速发展起来的研究微观世界的微-纳米科学技术已成为国际高科技领域关注的热点,在微电子、微机械及纳米电子、纳米机械技术方面,微米级的加工技术在1988年已使硅片刻
【机 构】
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解放军总医院医学实验测试中心
【出 处】
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军医进修学院学报
【发表日期】
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1999年3期
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