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采用磁控和离子柬联合溅射法制备了NdFeB／α—Fe／NdFeB系列纳米复合多层膜，研究了热处理温度对薄膜结构、表面形貌和磁性能的影响。
热处理对NdFeB薄膜微结构和磁性能的影响
【摘 要】
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采用磁控和离子柬联合溅射法制备了NdFeB／α—Fe／NdFeB系列纳米复合多层膜，研究了热处理温度对薄膜结构、表面形貌和磁性能的影响。
【机 构】
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太原科技大学材料科学与工程学院
【出 处】
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机械工程与自动化
【发表日期】
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2008年1期
【基金项目】
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山西省自然科学基金资助项目（20021067）
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