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介绍了三种不同结构的弯曲振动模态超声微电机.详细讨论了它们共同的驱动原理,分别介绍了压电片夹心式和压电管式电机的结构特点及性能测试.在此基础上,研制了一种更易实现微型化的压电柱式超声微电机,并介绍了它的极化原理及结构.文章对弯曲振动模态超声电机的设计具有指导意义,对其深入研究具有参考价值.
三种弯曲旋转超声电机的原理及研究
【摘 要】
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介绍了三种不同结构的弯曲振动模态超声微电机.详细讨论了它们共同的驱动原理,分别介绍了压电片夹心式和压电管式电机的结构特点及性能测试.在此基础上,研制了一种更易实现微
【机 构】
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清华大学物理系
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2002年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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