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三坐标精密移动平台的X,Y,Z 3个方向的位移测量采用了基于容栅传感器的数显位移测量系统,位移测量范围可达0～40 mm,位移分辨力为0.001 mm,精度为0.01 mm.检测结果表明:系统精度高、稳定性好、使用方便.
容栅传感器在三坐标精密移动平台上的应用
【摘 要】
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三坐标精密移动平台的X,Y,Z 3个方向的位移测量采用了基于容栅传感器的数显位移测量系统,位移测量范围可达0～40 mm,位移分辨力为0.001 mm,精度为0.01 mm.检测结果表明:系统精
【机 构】
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南京航空航天大学,南京航空航天大学,南京航空航天大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2005年4期
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