【摘 要】
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采用水热法制备了不同浓度（0%,1%,3%和5%（摩尔分数））Au掺杂的花状In2O3微结构。利用X射线衍射仪（XRD）、X射线能谱分析仪（EDS）和扫描电子显微镜（SEM）对合成的In2O3的晶相、成分和微观形
【机 构】
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太原理工大学信息工程学院新型传感器与智能控制教育部重点实验室微纳系统研究中心
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采用水热法制备了不同浓度（0%,1%,3%和5%（摩尔分数））Au掺杂的花状In2O3微结构。利用X射线衍射仪（XRD）、X射线能谱分析仪（EDS）和扫描电子显微镜（SEM）对合成的In2O3的晶相、成分和微观形貌进行表征与分析。分析结果表明,制备的花状微结构的平均粒径约4μm,花状纳米片的厚度约为25nm。同时,对制备的Au掺杂In2O3气体传感器的气敏特性进行了研究,实验结果表明,在最佳工作温度（250℃）条件下,3%（摩尔分数）Au掺杂In2O3气体传感器对100×10-6丙酮气体的灵敏度
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