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针对晶体制造过程中晶体重量变化缓慢，且其制造过程中，现有称重系统准确度不够的问题，设计了一种在监测晶体生长过程中，重量变化的高精确度称重系统．采用高精确度称重传感器确保测量准确度，采用软件滤波的方法提高系统的抗干扰能力，同时通过系统上位机对晶体生长过程进行实时监控和重量曲线记录。
用于晶体生长过程监控的高精确度称重系统设计
【摘 要】
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针对晶体制造过程中晶体重量变化缓慢，且其制造过程中，现有称重系统准确度不够的问题，设计了一种在监测晶体生长过程中，重量变化的高精确度称重系统．采用高精确度称重传感器确保测
【机 构】
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哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院
【出 处】
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哈尔滨理工大学学报
【发表日期】
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2007年2期
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