【摘 要】
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氧化铝陶瓷由于其具有较高的机械强度,硬度大,耐磨性好,化学稳定性优良等优点,在许多行业被广泛应用,近年来尤其在半导体行业中迅速发展,开展半导体设备用氧化铝精密陶瓷产品
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氧化铝陶瓷由于其具有较高的机械强度,硬度大,耐磨性好,化学稳定性优良等优点,在许多行业被广泛应用,近年来尤其在半导体行业中迅速发展,开展半导体设备用氧化铝精密陶瓷产品的开发意义重大。而注浆成形由于成本低,工艺过程简单,易于控制和操作等优点,成为氧化铝陶瓷生产中比较常用的一种成形方式。本文主要以95氧化铝陶瓷为例,从氧化铝粉体的选择、烧结助剂的选择、减水剂(分散剂)的选择、料浆的细度和颗粒分布、料浆的后续处理五个方面讨论了注浆成形氧化铝陶瓷料浆的工艺控制。
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