【摘 要】
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针对介观尺度下的微小摩擦测试系统进行了设计，给出了一种基于平行梁结构的微小摩擦力测试方法及其测试装置，介绍了该测试装置的设计方法、测力传感器的结构设计、微小摩擦力测
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针对介观尺度下的微小摩擦测试系统进行了设计，给出了一种基于平行梁结构的微小摩擦力测试方法及其测试装置，介绍了该测试装置的设计方法、测力传感器的结构设计、微小摩擦力测试原理及测力传感器标定方法。通过光反射法对测力传感器进行标定及微小摩擦力测量，通过对测量数据分析，得到微小摩擦力实验规律。实验结果表明：该装置分辨率可达到为10μN，可满足短行程高分辨率的微小摩擦力测试的需要，同时对测量过程中出现的载荷不稳定情况进行了分析。
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