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在微波等离子体化学气相沉积系统中,利用脉冲氮离子束溅射二氰二氨靶产生的碳氮粒子作为合成前驱物,在石英玻璃基片上研究了SiCN晶体的合成。用扫描电子显微镜（SEM）、X射线能谱（EDX）、X射线衍射（XRD）和X射线光电子能谱（XPS）研究了基片温度对薄膜的形貌、成分和结构的影响。结果表明：随着基片温度的降低,沉积物由截面为六方形的结晶良好的SiCN晶体（800℃）变成发育不完全的聚片状晶体（700℃）,直到变成颗粒细小的无定形碳氮薄膜（550℃）。衍射峰的强度以及晶胞参数a和c的值随温度的降低而减小。薄膜