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采用溶胶-凝胶法，研究了两种在Au／Cr／SiO2／Si基底上沉积PZT（Pb（Zr0．52Ti0.48）O3）厚膜的方法。把与PZT澄清溶胶成分相同的PZT纳米粉混入澄清PZT溶胶，然后超声混合形成PZT浆料，PZT纳米粉的粒径为50～100nm。XRD分析表明两种方法得到的PZT厚膜都获得了单相钙钛矿结构。SEM结果显示两种厚膜厚度大约4μm，第一种旋涂方法制得的PZT厚膜表面粗糙，第二种旋涂方法制得的厚膜表面致密，无裂纹。在1kHz的测试频率下，第一种和第二种厚膜的矫顽场分别为30kV／cm和50k