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在微电子机械系统(MEMS)中,执行器的动作主要通过微结构的微小变形来实现,故其动态变形测试具有十分重要的意义。本文采用栅线投影测量和频闪成像技术,研制了一套三维微结构高频动态测试系统,可以实现高达10MHz频率的动态变形测量。由于在频闪测量中,光源照明信号与器件激励信号需严格同步,本文采用直接数字频率合成和现场可编程门阵列(FPGA)技术,研制了超高频激光频闪同步控制器。通过相移栅线投影器及频闪位相控制器,获得了离面位移和背景强度,然后对背景强度运用数码图像相关技术实现面内位移的测量。