直线电机在超精密加工技术中的应用和发展

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介绍了目前国内外直线电机技术在超精密加工技术中的应用和发展情况,指出直线电机所具有的高动态性能、高精度和免维护的特性是传统旋转电机无可比拟的;在超精密加工中,应用直线电机驱动技术正成为国内外的研究热点和发展趋势。
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