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实验装置由三部分组成:第一部分是J59—200加速器,离子源是冷阴极的潘宁源。能量范围20-200KeV,束流强度1—200微安,电荷态是通过一个磁分析器选择的;第二部分是气体靶室,真空是由分子泵和机械泵获得的,真空度可达2×10<sup>-6</sup>乇,充入靶气体后在碰撞室中的真空度为10<sup>-3</sup>—10<sup>-4</sup>乇,对于不同同的靶气体的真