电感耦合等离子体离子源分析性能的影响因素探究

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ICP(电感耦合等离子体)离子源是目前质谱分析中最常用的离子源之一,具有电离效率高、分析产物主要为单电荷离子等特点.因其优良的性能,现已广泛应用于不同行业中.为了继续提升ICP-MS(电感耦合等离子体质谱)的分析性能,拓宽应用领域,许多学者通过实验研究,建模仿真对ICP离子源进行了深入研究.本文对这些工作进行了阐述,介绍了不同的影响因素对等离子体特性的影响.如气体流速、功率大小、采样深度等,并对有无质谱采样接口时的等离子体的特性进行比较,为优化等离子体离子源提供思路.
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