论文部分内容阅读
多孔硅在形成过程中由于内部产生巨大的拉伸应力,在裂纹的中心部位拉伸应力可达到0.92 GPa,导致在硅晶体内部较脆弱的部位(如晶界附近)形成微裂纹,多孔硅沿着硅表面缺陷和裂纹区生长.随着刻蚀时间的增加,多孔硅孔隙率增加,拉伸应力进一步增加.正是由于这种残余应力的存在导致了多孔硅发生龟裂现象.
多孔硅内部残余应力的研究
【摘 要】
：
多孔硅在形成过程中由于内部产生巨大的拉伸应力,在裂纹的中心部位拉伸应力可达到0.92 GPa,导致在硅晶体内部较脆弱的部位(如晶界附近)形成微裂纹,多孔硅沿着硅表面缺陷和裂
【机 构】
：
天津大学,天津大学
【出 处】
：
压电与声光
【发表日期】
：
2005年1期
其他文献
在养牛业中，繁殖群母牛的利用年限更为重要，因为犊牛是唯一的产品。育种群和生产群的差别在于，生产群希望春秋集中产犊，育种群则不追求季节性产犊，要求母牛每10～11个月产犊1次。笔
应用射频磁控溅射工艺在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备具有钙钛矿结构的PZT铁电薄膜。对影响PZT薄膜性能、形貌的工作气压、基片温度、氧／氩＋氧之比、溅射功率、退火温度5个主要因素进
制备多晶、透明的Nd：YAG陶瓷，测量其吸收光谱、发射光谱、荧光光谱及荧光寿命。它展现出的光学特性与单晶的性能几乎一样。但Nd：YAG陶瓷制备方法比单晶的生长技术简单。目前，可制
用Ag^＋和Ba^2＋部分取代（Bi0.5Na0.5）TiO2（BNT）基无铅压电陶瓷的A位离子，获得了一类具有钙钛矿结构的新型无铅压电陶瓷体系，并申请了国家发明专利。该体系压电陶瓷的分子式可用[Bi0．5（Na
采用NBT基铁电陶瓷，获得了20A／cm^2的电流发射密度。与PZT的发射性能相比，NBT发射电流密度稍低，但NBT具有更低的发射起始阈值，更高的耐压强度和更好的退极化性能。NBT表现出来的较
提出了一种基于压电陶瓷的新型固液一体化作动器。该作动器通过两个压电陶瓷泵协调工作，由压电陶瓷提供动力，液压油为介质，用泵体代替普通一体化作动器中的单向阀，克服了单向阀的
1硝酸盐白菜、油菜、萝卜叶、菠菜、苋菜、甘蓝、甜菜叶、莴苣叶、甘薯藤叶、茄子叶、牛皮菜及野菜等，经过长时间的堆积或一次大量煮后焖在锅里，分次饲喂，尤其是经十几小时后，还