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采用溶胶-凝胶旋涂法在Si（100）衬底上制备Na掺杂ZnO薄膜，退火温度分别为873，973，1073K。研究了退火温度对Na掺杂ZnO薄膜形貌、微观结构和光学性能的影响。室温光致发光谱显示，在973K下退火的样品具有中心位于361nm处尖锐而强的紫外发光峰，在388，425nm处各有一个比较弱的紫色和蓝色发光峰，在可见光范围内发光峰的强度很弱。