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呆用溶胶-凝胶法和旋涂工艺，以钛酸丁酯、冰乙酸、乙酰丙酮、无水乙醇、去离子水为原料，制得TiO2薄膜。获得均匀连续TiO2薄膜的热处理工艺参数为：室温至200℃阶段烧结升温速率为0．5℃／min。
氧化钛薄膜制备的热处理工艺研究
【摘 要】
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呆用溶胶-凝胶法和旋涂工艺，以钛酸丁酯、冰乙酸、乙酰丙酮、无水乙醇、去离子水为原料，制得TiO2薄膜。获得均匀连续TiO2薄膜的热处理工艺参数为：室温至200℃阶段烧结升温速率为
【机 构】
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武警警官学院
【出 处】
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科教导刊（电子版）
【发表日期】
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2015年27期
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