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电子束扫描偏转系统参量非劣解中的最优解
电子束扫描偏转系统参量非劣解中的最优解
来源 :山东科学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:longyixu13543078183
【摘 要】
:
电子束扫描系统决定了电子束机的动态特性,本文以电子束偏转磁场的畸变为目标对其参量进行非劣解中找出贴近于理想值的最优解。
【作 者】
:
尹明
孙晓军
【机 构】
:
山东工业大学自动化工程系
【出 处】
:
山东科学
【发表日期】
:
1998年1期
【关键词】
:
偏转磁场
象差
VLSI
电子束机
电子束扫描系统
e-beam
deflection magnetic-field
aberration
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电子束扫描系统决定了电子束机的动态特性,本文以电子束偏转磁场的畸变为目标对其参量进行非劣解中找出贴近于理想值的最优解。
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