用于激光测振的聚焦扫描系统

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针对单点式激光测振仪在测量中的缺陷,本文提出了一种聚焦扫描的测量方式。利用三个步进电机实现对聚焦扫描的控制,其中一个电机控制透镜的移动实现变焦,另外两个电机控制平面镜转向实现光斑位置的移动。设计了聚焦扫描算法,通过实验验证了该方法的实用性。
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