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惯性冲击式压电微电机是近年来出现的一种新型驱动装置。阐述了微电机的工作原理和运动过程，提出了几种机械结构的设计方法并进行了对比，对微电机模型进行了动力学分析，设计了相关的驱动电源并进行了实验。经验证，设计的微电机工作性能稳定，最大运动速度为150μm／s。
惯性冲击式压电微电机的研究
【摘 要】
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惯性冲击式压电微电机是近年来出现的一种新型驱动装置。阐述了微电机的工作原理和运动过程，提出了几种机械结构的设计方法并进行了对比，对微电机模型进行了动力学分析，设计了相
【机 构】
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中国科学院电工研究所,中国科学院研究生院
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2007年2期
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