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为提高用于水下成像的电容式微机械超声换能器的指向性，文中用ANSYS力电耦合分析法设计了工作频率为400kHz的收发一体传感器的结构参数并完成了实验验证。同时研究了阵列设计方法，分析了电容式微机械超声换能器阵列各参数对指向性的影响，完成了从微小敏感单元到阵列的设计，实现了阵列指向性的优化设计。该阵列为16阵元的线阵，阵元间距为1.925mm，阵元宽度为1.82mm。进行了水下指向性测试，实验表明该线阵的??3dB主瓣宽度为5?，最大旁瓣级为??13:5dB，对称性好。该设计是实现较远距离的探测，提高成像分