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本文主要验证等离子体预处理对太阳能电池性能的影响，也就是SiNx：H层的性能。研究发现预处理的时间对于沉积物SiNx：H层影响比较小，较短的PECVD预处理时间，其钝化作用相对于长时间预处理更加有效。同时，预处理时间在300秒范围内对于太阳能板的效率起着次要作用。
等离子体预处理对于太阳能电池性能的影响
【摘 要】
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本文主要验证等离子体预处理对太阳能电池性能的影响，也就是SiNx：H层的性能。研究发现预处理的时间对于沉积物SiNx：H层影响比较小，较短的PECVD预处理时间，其钝化作用相对于长时间
【机 构】
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西安黄河光伏科技股份有限公司
【出 处】
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电讯工程
【发表日期】
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2014年1期
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