【摘 要】
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在含双氧水（H2O2）10 m L/L和氨三乙酸（NTA）20 mmol/L的溶液（p H=9）中分别加入0.5、1.0、1.5和2.0 mg/L的18-冠醚-6，研究了在弱碱性条件下18-冠醚-6对金属钴（Co）电化学腐蚀的影响。结果表明：随着18-冠醚-6质量浓度的增加，钴与氮化钛（Ti N）的腐蚀电位差先降低后升高，当18-冠醚-6为1.0 mg/L时最低，而钴的腐蚀电流密度越来越小。通过扫
【基金项目】
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国家科技重大专项资助项目（2016ZX02301003-004-007）； 河北省国家自然科学基金（F2020202067）；
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在含双氧水（H2O2）10 m L/L和氨三乙酸（NTA）20 mmol/L的溶液（p H=9）中分别加入0.5、1.0、1.5和2.0 mg/L的18-冠醚-6，研究了在弱碱性条件下18-冠醚-6对金属钴（Co）电化学腐蚀的影响。结果表明：随着18-冠醚-6质量浓度的增加，钴与氮化钛（Ti N）的腐蚀电位差先降低后升高，当18-冠醚-6为1.0 mg/L时最低，而钴的腐蚀电流密度越来越小。通过扫描电镜（SEM）形貌表征和X射线光电子能谱（XPS）分析可以证实，18-冠醚-6的加入使钴表面的电化学腐蚀得到了有效抑制，显著改善了Co在化学机械抛光（CMP）后的表面状态。
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