【摘 要】
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本文研究了采用射频溅射法以3Cr13马氏体不锈钢为基片制备硫化钨薄膜。实验分别采用了不同的溅射功率、工作气压和沉积时间来制备样品。之后对三组样品分别进行物相分析、表
【机 构】
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东北大学真空与流体工程中心,沈阳华迅真空科技有限公司
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本文研究了采用射频溅射法以3Cr13马氏体不锈钢为基片制备硫化钨薄膜。实验分别采用了不同的溅射功率、工作气压和沉积时间来制备样品。之后对三组样品分别进行物相分析、表面形貌观察、测定微区化学成分、结合力和摩擦系数。结果表明:通过射频溅射法可获得非晶态WS2薄膜,薄膜的S/W比一般小于2,并受溅射工艺影响较为明显,随着溅射功率的升高逐渐降低,随着溅射时间的延长明显升高。薄膜结合力受溅射工艺影响并不显著。通过射频溅射所获得薄膜的摩擦系数在一定范围内与其硫钨比成反比。
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