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用亚波长正弦介质光栅设计1/4波片
用亚波长正弦介质光栅设计1/4波片
来源 :激光技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qiang860412
【摘 要】
:
采用扩展边界条件法,得出亚波长正弦介质光栅正入射反射型1/4波片的结构参数.发现在一定精度范围内TE波与TM波的相位差能够在一段较大的槽深区域满足设计要求,从而降低了实际
【作 者】
:
卢向东
傅克祥
王植恒
麻健勇
【机 构】
:
四川大学物理科学与技术学院
【出 处】
:
激光技术
【发表日期】
:
2003年4期
【关键词】
:
亚波长正弦介质光栅
反射型l/4波片
方位角
偏振光
sinusoidal dielectric subwavelength gratings
reflecti
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采用扩展边界条件法,得出亚波长正弦介质光栅正入射反射型1/4波片的结构参数.发现在一定精度范围内TE波与TM波的相位差能够在一段较大的槽深区域满足设计要求,从而降低了实际控制刻蚀深度的难度.讨论了线偏振光转化为圆偏振光的方位角问题.
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