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期刊论文
多层膜研究与应用的新进展
多层膜研究与应用的新进展
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hello0306
【摘 要】
:
近年来多层膜的研究发展很快,因为它具有奇特的光学、电磁学及机械特性。本文阐述了在多层膜性能、制备、理论和实验研究及应用方面的最新进展。
【作 者】
:
薛钰芝
林纪宁
【机 构】
:
大连铁道学院
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1999年A10期
【关键词】
:
薄膜
多层膜
沉积
光学性质
电磁性质
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近年来多层膜的研究发展很快,因为它具有奇特的光学、电磁学及机械特性。本文阐述了在多层膜性能、制备、理论和实验研究及应用方面的最新进展。
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