反应离子刻蚀硅槽工艺研究

来源 :电子与封装 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dingyongguo
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
在CMOS多晶硅刻蚀工艺的基础上进行工艺开发,采用氯气和溴化氢气体进行硅槽刻蚀。通过对功率、压力、气体流量等工艺参数拉偏,用扫描电子显微镜观察硅槽侧壁形貌,分析各参数在反应离子刻蚀中所起到的作用,得到对硅槽形貌影响较大的因素,最终得到一种能够与CMOS工艺兼容的硅槽刻蚀方法。该方法能够制作出深度6μm、深宽比4∶1、侧壁光滑的硅槽,可以用于光电继电器、硅电容等新型器件的研发。
其他文献
本文以300MW机组凝汽器循环水排水管道为例,对循环水排水管道补偿器所起的作用进行分析,并针对设补偿器的带来的问题提出在循环水管道上不设补偿器的理由和设计方案及一些处理
从近期我国建设燃机电厂的技术,经济,适用条件出发,概述燃机电厂设计原则的建议,包括燃机,汽轮机,余热锅炉的选择,主厂房布置,电气系统设计,控制方式与水平,燃料选择等。
针对传统分立器件测试包装时,自动视觉检测一般只检测器件塑封体和引脚等外观,对称器件在替补时可能存在方向倒反的问题,引入了视觉检测的方法。通过检测器件打印码来判断器件方向是否正确。通过具体设计并在实际设备上安装和实验分析,阐述了如何通过视觉检测出载带中的倒反器件,有效提升了产品质量。
【世界核新闻网站2008年6月16日报道】加拿大安大略省政府宣布,达灵顿(Darlington)已被选为新建2座核电反应堆的厂址。3家反应堆供应商已受邀继续参与招标过程。
患者男,60岁,树枝刺伤左侧颈部自行拔出后到外院就诊,给予清创、缝合术,放引流条处理;术后3天撤引流条,随后切口处间断流脓2月余,于我院就诊。查体:左侧耳后乳突下2cm处见一直
我国一直高度重视贫困问题。贫困常出现在地理位置不便、自然环境恶劣、经济发展落后、基础设施缺乏的地区,贫困区域常连片。2010年我国首次提出连片特困地区的重要论述,指出我国存在着14个集中连片特困地区。其贫困范围广,贫困程度深,传统的大水漫灌式的财政扶贫效果弱化,金融扶贫这类新兴模式在集中连片特困地区扶贫工作中发挥了极大作用。它是对困难群众或扶贫项目投入信贷资金,使困难群众实现自主脱贫。武陵山片区是
介绍了一种便携式探针台,其结构小巧,功能实用,成本较低,可以满足基本的试验需求。特别之处在于显微镜和探针台采用分体结构设计,使得探针台部分能从整个探针台系统中独立出
互联网的发展建立了新的传播环境,在客观上要求教育电视面对新的挑战,处理新的问题.该文论述了互联网近年来的发展状况,分析了现阶段教育电视在互联网环境下的传播优势,并提
在仿生矿化领域,如何通过人工合成的方法来模拟骨组织精妙的多分级矿化结构,进而形成具有与自然骨组织各项性能相媲美的硬组织缺损修复材料是当前的研究热点及难点问题。自然
该文介绍了马鞍山第二发电厂主厂房布置中的一些优化设计情况以及锅炉和燃烧制粉系统上的优化措施,可供300MW发电机级的设计参考。