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在CMOS多晶硅刻蚀工艺的基础上进行工艺开发,采用氯气和溴化氢气体进行硅槽刻蚀。通过对功率、压力、气体流量等工艺参数拉偏,用扫......
IPDIA推出10μF的硅电容，具有较好的稳定性和可靠性特点，专为要求苛刻的应用而设计。新的使用专利3D硅技术的10μF电容，其低漏电流可......
在简要回顾麦克风发展历史的基础上,介绍了利用光导波、硅压电、硅压阻以及硅电容等测量原理构成的新一代麦克风的原理、结构、特......
分析了MMA系列加速度传感器的内部结构及其工作原理,介绍了其体积小、抗冲击能力强、集成度高和低噪声漂移等特点,着重说明了其滤......
文中从应用开发MEMS产品的实用角度出发,介绍硅电容微差压敏感器件的封装工艺技术。文中给出了该器件的工作原理及结构特点,从封装......
通过对多种电容传感器接口电路的列举和特性的比较,选取4个二极管交流桥式接口形式。分别通过解析计算及利用SPICE程序进行计算机......
介绍了一种提高硅电容压力传感器过载回零响应速度的方法,通过在传感器硅可动极板上设计、制作快速导油微结构,实现了传感器过载回......
<正> 本届展览会参展的各种传感器,从测量参数看主要分为压力、加速度、流量、液位和温度五大类,广泛用于工业过程测控系统.从技术......
为了掌握硅压阻、数字式振筒和硅电容3种气压传感器的静态性能,进行了2次静态性能测试(非线性、迟滞、重复性)、温度测试和长期稳......
研制的硅电容压力传感器芯体采用微机械加工技术,加工精度高,易于批量化生产。结构上采用对称的差动电容形式,并将其封装在专用基......
本文介绍了利用ＫＯＨ腐蚀液对硅台阶、台面等三维结构进行无掩膜腐蚀的新技术．应用该技术可以制作出仅用常规各向异性腐蚀所无法形成的微......
硅电容式差压传感器在国际上刚刚崭露头角，在国内尚属空白，此项目被国家列为“十五”攻关课题，以填补国内空白，适应市场的大量需求。 ......
