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采用等离子体增强热丝化学气相沉积法在Ｓｉ（１１１）衬底上生长金刚石薄膜，扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）分析结果表明金刚石晶体颗粒在（１１１）方向实现了取向生长。
等离子体增强热丝化学气相沉积法生长取向金刚石薄膜
【摘 要】
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采用等离子体增强热丝化学气相沉积法在Ｓｉ（１１１）衬底上生长金刚石薄膜，扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）分析结果表明金刚石晶体颗粒在（１１１）方向实现了取向生长。
【机 构】
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南昌大学材料科学与工程系,南昌大学物理学系
【出 处】
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南昌大学学报：理科版
【发表日期】
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2000年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目!(5950 10 0 4 ),江西省自然科学基金资助项目!(9950 0 2 4 )
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