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本文提出了一种用光栅分光干涉法测量磁盘平面度的非接触式测量方法。它是利用迈克尔逊干涉对磁盘的径向轮廓进行绝对测量;利用光栅衍射的零级和一级光的互干涉对磁盘的周向轮廓进行相对测量。通过数据处理将两者联系起来得到平面度值。该测量原理的优点是:减少外界条件变化的影响和磁盘转动过程中轴本身的摆动及跳动的影响,反映真实的平面度值,使测量达到高精度,本文叙述了对该方法进行的理论分析及实验研究。