角分辨飞行时间法研究紫外激光烧蚀Ta2O5的反应

来源 :物理化学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：asdfghjkh

【摘要】

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利用角分辨飞行时间法研究了３５５ｎｍ脉冲激光烧蚀Ｔａ２Ｏ５的反应，由四极质谱测得的煤蚀产物除了Ｏ，Ｔａ，ＴａＯ和ＴａＯ２中性碎片外，在较高激光能量密度时还有Ｏ，Ｔａ，ＴａＯ，ＴａＯ２离子碎片，它们的飞行时间（ＴＯＦ）谱可以用于级分带质心速度的Ｍａｘｗｅｌｌ－Ｂｏｌｚｔｍａｎｎ分布

【作者】

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韩镇辉陆建江

【机构】

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复旦大学激光化学研究所

【出处】

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物理化学学报

【发表日期】

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1997年2期

【关键词】

：

激光烧蚀飞行时间谱角分布氧化钽薄膜 Ta_2O_5 Laser ablation Time-of-flight spectrometry Angu

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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利用角分辨飞行时间法研究了３５５ｎｍ脉冲激光烧蚀Ｔａ２Ｏ５的反应，由四极质谱测得的煤蚀产物除了Ｏ，Ｔａ，ＴａＯ和ＴａＯ２中性碎片外，在较高激光能量密度时还有Ｏ，Ｔａ，ＴａＯ，ＴａＯ２离子碎片，它们的飞行时间（ＴＯＦ）谱可以用于级分带质心速度的Ｍａｘｗｅｌｌ－Ｂｏｌｚｔｍａｎｎ分布函数较好地拟合，原生离子碎片的平均动能与激光能量密度无关，烧蚀产物原生离子和中性粒子的角分布可以分别用ａｃｏｓ＾ｎθ（ｎ

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